魁半導体 YHS-DΦS

回転式卓上真空プラズマ装置

回転式卓上真空プラズマ装置

概要

樹脂や硝子・金属等の表面改質や洗浄を行うプラズマ装置。樹脂成型品の洗浄・接着前処理MEMSの洗浄等・乾式環境での粉体表面処理などに使用する。※回転不良の症状あり。

リユース 成立済
設置年 2013
装置カテゴリ
適合分野

リユースについて

提供者所属 異分野融合先端研究コア
情報提供日
リユース前所属・設置場所

新技術研究センター2F203号室

リユース後所属・設置場所

工学部1号館

リユース後の用途

研究室利用

リユース後共同利用情報URL /equipments/view/R2017040701