Zygo社製 Newview 7300
3次元光学プロファイラーシステム
概要
微細加工等のプロセスが施された表面や物体表面の三次元形状を走査型白色光干渉技術により0.1ナノメートルの垂直分解能で高速測定し、測定面の性状を多彩なパラメータにより定量的に解析評価するとともに、その結果を高解像度でカラーグラフィクス表示する。
装置の仕様・特色
測定原理: 走査型白色干渉法
垂直分解能: 0.1nm
垂直測定範囲: 150μm
観察視野: 0.04x0.03mm ~ 14.14x10.6mm
CCD画素: 640x480 (Max)
自己測定
学内 学外
| 設置年 | 2009 |
|---|---|
| 装置カテゴリ | |
| 適合分野 | 物理学系生物学系その他(機械系) |
| 管理部局 | 自然科学研究科 |
| 使用責任者 | 自然科学研究科 |
| 拠点 | 03. 自然生命科学研究支援センター 分析計測・極低温部門 |
共同利用について
| 利用にあたっての留意事項 | 利用方法等について指導訓練を受ける必要あり。予約制。 |
|---|---|
| 費用負担 |
自己測定のみ |
| 自己測定利用法 |
利用資格: 講習会受講 |
| 詳細情報 | http://dia.kikibun.okayama-u.ac.jp/equipments/view/132 |
| 利用方法や利用規程 | http://dia.kikibun.okayama-u.ac.jp/files/upload/files/dia/kitei_riyouyoukou.pdf |