概要

電子銃(電子線源となる)を用いて、電子線を収束させた細い電子線を試料に照射し、その表面形態を観察する装置。試料表面の凹凸や形態の観察や表面分析(局所組成、元素分布など)が可能。
工学　機械　固体　表面　顕微　分析　電子