概要

マルチターゲットスパッタリング装置、微細形状測定機、熱物性測定装置、示差走査熱量計、雰囲気制御ホットプレス装置、レーザーラマン顕微鏡、赤外可視紫外分光光度計、無冷媒多目的物性評価システムの各装置から構成される。個々の装置は、独立に稼動しており利用可能である。