旭商会 (平成17年 原取)
高真空抵抗加熱蒸着装置
概要
高真空中(10-4～10-5 Pa)において、金属材料などを抵抗加熱により蒸発させることで、薄膜を作製することができる。
物理、化学、工学、材料、無機、固体、圧力
自己測定
学内
| 設置年 | 2014 |
|---|---|
| 装置カテゴリ | |
| 適合分野 | 物理学系 |
| 管理部局 | 自然生命科学研究支援センター |
| 使用責任者 | 自然科学研究科(工) |
| 拠点 | 03. 自然生命科学研究支援センター 分析計測・極低温部門 |
共同利用について
| 利用にあたっての留意事項 | 使用希望者は、監守者の指示に従ってください。 |
|---|---|
| 費用負担 |
クリーンルーム全体で運営している。 |
| 自己測定利用法 |
監守者へ連絡し、測定方法をご相談ください。 |
| 詳細情報 | http://dia.kikibun.okayama-u.ac.jp/equipments/view/544 |
| 利用方法や利用規程 | http://dia.kikibun.okayama-u.ac.jp/files/upload/files/dia/kitei_riyouyoukou.pdf |