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マルチ成膜装置
㈱真空デバイス VES-30T
マルチ成膜装置
概要
マルチ成膜装置
リユース
成立済
設置年
H25年以降
装置カテゴリ
適合分野
化学系,工学系
設置場所
リユースについて
提供者所属
自然科学研究科(工)
情報提供日
リユース前所属・設置場所
CREST 戦略的創造研究推進事業
リユース後所属・設置場所
工学部10号館 (移設2018.03.25)
リユース後の用途
個人・限定用途
リユース後共同利用情報URL
/equipments/view/R2019021202