㈱真空デバイス VES-30T

マルチ成膜装置

NO IMAGE

概要

マルチ成膜装置

リユース 成立済
設置年 H25年以降
装置カテゴリ
適合分野 化学系,工学系
設置場所

リユースについて

提供者所属 自然科学研究科(工)
情報提供日
リユース前所属・設置場所

CREST 戦略的創造研究推進事業 

リユース後所属・設置場所

工学部10号館  (移設2018.03.25)

リユース後の用途

個人・限定用途

リユース後共同利用情報URL /equipments/view/R2019021202