芝浦メカトロニクス(株)製 (F10000000002191)
研究開発用マグネトロンスパッタリング装置
概要
μメートル級の各種薄膜を形成する装置
自己測定
学内 学外
| 設置年 | 2010 |
|---|---|
| 装置カテゴリ | |
| 適合分野 | 物理学系 |
| 管理部局 | 惑星物質研究所 |
| 使用責任者 | 惑星研 芳野極 |
| 拠点 | 10. 地球惑星科学研究拠点 |
共同利用について
| 利用にあたっての留意事項 | 使用に当たっては担当者の指導の下で使用すること。 |
|---|---|
| 費用負担 |
惑星研負担 |
| 詳細情報 | http://www.misasa.okayama-u.ac.jp/jp/ |
| 利用方法や利用規程 | http://www.misasa.okayama-u.ac.jp/jp/ |