Vacuum device HCP-1S
走査電子顕微鏡試料作製(コーティング)
1.33Pa程度の低真空でグローチャージを起こさせて残留ガスをイオン化し、このガスイオンのエネルギーを利用して金属をスパッタさせたり、試料のクリーニング・或いはエッチングを行なう装置です。
設置年 | 2005 |
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装置カテゴリ | |
適合分野 | 生物学系医学系 |
管理部局 | 医歯薬学総合研究科 |
使用責任者 | 医学部 |
拠点 | 05. 医学部共同実験室 |
基礎医学棟 1F 共同実験室 電子顕微鏡室