芝浦メカトロニクス(株)製

研究開発用マグネトロンスパッタリング装置

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概要

μメートル級の各種薄膜を形成する装置

自己測定 学内 学外
設置年 2010
装置カテゴリ
適合分野 物理学系
管理部局 惑星物質研究所
使用責任者

惑星研 米田明
(内線 3762)

拠点

10. 地球惑星科学研究拠点

共同利用について

利用にあたっての留意事項

使用に当たっては担当者の指導の下で使用すること。

費用負担

惑星研負担

詳細情報 http://www.misasa.okayama-u.ac.jp/jp/
利用方法や利用規程 http://www.misasa.okayama-u.ac.jp/jp/
機器利用の申込・お問い合わせ

設置場所

第二研究棟


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